国家知识产权局信息显示，广东先导稀材股份有限公司申请一项名为“一种磁控溅射设备分气装置”的专利，公开号CN121826618A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种磁控溅射设备分气装置，包括进气管、分气单元、出气管；进气管的一端为进气端，进气管的另一端和分气单元连通；出气管设有出气端；分气单元包括一级分气模块和次级分气模块；一级分气模块具有第一输入端和两个第一输出端；次级分气模块具有合气端、第二输入端、两个第二输出端、第三输入端、两个第三输出端和两个第六输出端；两个第一输出端分别和第二输入端、第三输入端连通；其中，一个第二输出端和合气端连通，另一个第二输出端和出气管连通；一个第三输出端和合气端连通，另一个第三输出端和出气管连通；两个第六输出端分别和出气管连通。通过合理的管路布置使各个出气端的质量流量稳定。

天眼查资料显示，广东先导稀材股份有限公司，成立于2003年，位于清远市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本37676.6226万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导稀材股份有限公司共对外投资了56家企业，参与招投标项目48次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息329条，此外企业还拥有行政许可350个。

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作者：情报员