国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司申请一项名为“电镀设备及其工作方法”的专利,公开号CN121826856A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及电镀设备及其工作方法,该电镀设备包括晶圆夹具、翻转装置和搬运装置,翻转装置用于在预定工位对晶圆夹具进行姿态切换,使晶圆夹具在水平姿态和垂直姿态之间切换;搬运装置在晶圆夹具完成姿态切换后对其进行夹持,并在保持垂直姿态不变的情况下完成多个电镀工序之间的转运。通过将晶圆夹具的姿态切换集中在同一工位完成,减少了晶圆夹具在不同工艺槽之间转运过程中反复变换姿态的情况,有利于提高电镀工序的连续性和运行稳定性。
天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司参与招投标项目34次,专利信息87条,此外企业还拥有行政许可7个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴