国家知识产权局信息显示,广东先导稀材股份有限公司申请一项名为“一种液晶显示用平面铜溅射靶材及其制备方法”的专利,公开号CN121820509A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种液晶显示用平面铜溅射靶材的制备方法。该方法包括以下步骤:对铜料依次进行第一次镦拔处理、第一次退火处理、第二次镦拔处理、第二次退火处理、第三次镦拔处理、第三次退火处理、热轧、第四次退火处理,得到所述靶材;其中,所述镦拔为长宽高三个方向各进行一次镦拔,每次镦拔变形量为50%,分8~16次完成,镦拔后锻回原尺寸。该方法通过三维镦拔和锻回操作强制材料流动,破碎粗晶、消除偏析并降低各向异性;同时,热轧借助单向延展优化晶粒取向并细化表面晶粒。二者协同作用,利用破碎‑再结晶与延展‑再结晶机制实现全尺寸晶粒细化,从而提升靶材致密度与均匀性,满足溅射工艺需求。此外,本发明还公开了一种采用该方法制备的液晶显示用平面铜溅射靶材。

天眼查资料显示,广东先导稀材股份有限公司,成立于2003年,位于清远市,是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本37676.6226万人民币。通过天眼查大数据分析,广东先导稀材股份有限公司共对外投资了56家企业,参与招投标项目48次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息331条,此外企业还拥有行政许可350个。

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作者:情报员