国家知识产权局信息显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司申请一项名为“一种化学气相沉积方法”的专利,公开号CN121826669A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请实施例公开一种化学气相沉积方法,该化学气相沉积方法包括:提供化学气相沉积装置,化学气相沉积装置包括腔体和射频 signal源,射频信号源位于腔体外,腔体设置有射频信号输入端;射频信号源用于通过射频信号输入端向腔体内提供射频信号;提供半导体本体,并将半导体本体置于腔体内;向腔体内通入反应气体;其中,反应气体包括前躯体和形成等离子体所需的气体;通过射频信号源向腔体内通入射频信号;停止通入反应气体,并向腔体内继续通入射频信号;在半导体本体的表面形成预设膜层。本申请实施例的技术方案,可以减少化学气相沉积过程中缺陷的产生,提高形成半导体器件的质量。
天眼查资料显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司,成立于2018年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本31162.1464万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽长飞先进半导体股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息78条,专利信息230条,此外企业还拥有行政许可14个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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