国家知识产权局信息显示,日月新先进技术研究(昆山)有限公司申请一项名为“一种新型集成电路曝光方法”的专利,公开号CN121832207A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种新型集成电路曝光方法,本发明属于半导体制造领域,包括步骤一:根据晶圆目标曝光区域的大小设定机台步进移动量,设定晶圆目标曝光区域X方向大小为M,Y方向大小为N;步骤二:将所述晶圆目标曝光区域拆分为若干组曝光单元,所述曝光单元的X和Y方向均需包含整数倍的芯片数量,将晶圆目标曝光区域范围拆分为对应的若干组光罩,所述光罩与曝光单元相对应,所述光罩X和Y方向的尺寸需是一种或多种芯片数量的整数倍,同时光罩的拼接处设置于切割道,所述切割道的所在位置无开窗图案。本发明可实现大曝光场多芯片设计晶圆的精准曝光,进而有效提升产品凸点封装的曝光场适配尺寸与工艺承载能力,适用于全品类后道凸点封装工艺领域。

天眼查资料显示,日月新先进技术研究(昆山)有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万美元。通过天眼查大数据分析,日月新先进技术研究(昆山)有限公司参与招投标项目3次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可6个。

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作者:情报员