国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种工艺腔体的盖板传送装置和半导体薄膜沉积设备”的专利，公开号CN121826653A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请实施例提供了一种工艺腔体的盖板传送装置和半导体薄膜沉积设备。工艺腔体的盖板传送装置用于驱动工艺腔体的盖板开合；工艺腔体的盖板传送装置包括：框架，具有位于所述盖板上方的支撑主体；链条箱体，设置于所述支撑主体，所述链条箱体包括箱本体、设置于所述箱本体的驱动齿轮和形成于所述箱本体内且位于所述驱动齿轮旁侧的收容部；链条组，与所述驱动齿轮相啮合，所述链条组的第一端部用于和所述盖板连接，在所述驱动齿轮驱动所述链条组传动的状态下，所述链条组的第二端部收容于所述收容部内。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息629条，此外企业还拥有行政许可69个。

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作者：情报员