国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置”的专利,公开号CN121839511A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请公开了扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置,通过调节第一偏摆线圈,使电子束经过固定光阑后扫描待测物并形成第一图像,在第一图像中目标电子束光斑位于视野中心的前提下,通过调节聚光镜的机械位置,使经过聚光镜后的目标电子束光斑保持在视野中心,在目标电子束光斑位于视野中心的情况下,通过调节聚光镜电流使第二图像中的目标电子束光斑达到最小。在确定最小目标电子束光斑位于视野中心的前提下,判断目标电子束光斑的灰度分布是否呈视野中心对称,在确定目标电子束光斑的灰度分布呈视野中心对称的情况下,确定完成扫描电子显微镜对中调节。由此,以偏摆线圈电流变化扫描待测物形成的图像为判断依据,降低了对中流程的复杂度。

天眼查资料显示,深圳中科飞测科技股份有限公司,成立于2014年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目287次,财产线索方面有商标信息281条,专利信息1103条,此外企业还拥有行政许可40个。

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作者:情报员