国家知识产权局信息显示,芯慧联芯(江苏)科技有限公司申请一项名为“一种芯片晶圆键合对准系统及键合对准方法”的专利,公开号CN121832068A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种芯片晶圆键合对准系统及键合对准方法,涉及半导体加工技术领域,包括:近红外光源,包括第一近红外光源和第二近红外光源,其出光口分别设置滤光片;照明系统,第一近红外光源和第二近红外光源的出光口连接至照明系统;反射镜和分光镜,反射镜设置在照明系统的出光口;大视场近红外色散显微物镜,设置于分光镜的下方,晶圆和芯片,位于大视场外色散显微物镜的物侧,大视场筒镜和两个红外相机,依次设置于分光镜上方,使晶圆对准标记和芯片对准标记上四个聚焦点形成四个反射像后,依次经过分光镜和大视场筒镜,在两个红外相机的视野内清晰成像。本发明在键合过程中可同时观察四个标记点的位置,实现了芯片与晶圆的高精度键合。
天眼查资料显示,芯慧联芯(江苏)科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,芯慧联芯(江苏)科技有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息6条,专利信息25条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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