国家知识产权局信息显示,合肥亦威科技有限公司、无锡亦威装备科技有限公司申请一项名为“一种超高洁净的热交换精密温控系统”的专利,公开号CN121857849A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种超高洁净的热交换精密温控系统,包括制冷系统、循环流体系统、厂务水系统、厂务水外部管路和循环液外部管路,所述循环流体系统包括循环液系统和基础换热循环系统。本发明通过特氟龙换热器的非直接接触设计,实现了循环液的超高洁净度,不仅提升了换热效率,还降低了流体阻力,采用模块化架构和分段式水箱设计,提升了节能性和维护便捷性,节约了载冷剂消耗,并且该系统结构创新,水箱可分段安装和多功能电子膨胀阀配置,增强了系统的适应性和可靠性,多路制冷剂调节确保了温度控制的精确性,不仅提升了系统的整体性能,还使其能灵活集成到不同半导体生产线中,保障了大规模生产的连续性和经济性。
天眼查资料显示,合肥亦威科技有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥亦威科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可3个。
无锡亦威装备科技有限公司,成立于2025年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡亦威装备科技有限公司专利信息1条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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