国家知识产权局信息显示,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“承载支架和晶圆处理装置”的专利,公开号CN121865892A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种承载支架和晶圆处理装置。承载支架包括承托盘和衬环;承托盘上设置有配合部衬环可拆卸地装配于承托盘的周侧边缘,衬环的内圈间隔设置有若干内凸结构;其中,若干内凸结构能够使位于承托盘内的物料与衬环的内圈之间具有间隙,并能够通过配合部限制衬环与承托盘的相对位置。本申请提供的承载支架安装难度小,设备成本低,且能够提高晶圆的工艺质量。
天眼查资料显示,江苏微导纳米科技股份有限公司,成立于2015年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目57次,财产线索方面有商标信息88条,专利信息632条,此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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