国家知识产权局信息显示,苏州中特微电子科技有限公司取得一项名为“一种具有侧向辅助机构的曝光机”的专利,授权公告号CN224137614U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种具有侧向辅助机构的曝光机,包括电机、滚珠丝杆、滚珠花键导向轴、滚子轴承、下基板、第一移动底板、第二移动底板、球碗组件、载物台和侧向辅助机构,侧向辅助机构包括限位轴安装支架、限位座、辅助导向轴和弹性塞柱,弹性塞柱将辅助导向轴的外表面、限位座依次抵靠于上基板的任一侧面上。本实用新型中弹性塞柱提供一个侧向力,顶住滚珠花键导向轴,使得滚珠花键一直有侧向力,如果花键本身移动中有间隙存在,那么这个侧向力可以使得间隙保持在一个固定方向,那么在从对位面高度移动到曝光面高度的时候,可以通过先移动XY方向去反方向补偿这个间隙实现曝光面也高精度对准的目的,增加良品率,稳定性,提高生产质量。

天眼查资料显示,苏州中特微电子科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本542.1052万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州中特微电子科技有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息16条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员