国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种射频功率供应系统”的专利，公开号CN121879506A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，一种射频功率供应系统，其中射频电源内置一个输出电压电流传感器，一射频电源控制器接收电压电流传感器的信号并输出频率控制信号，使得射频电源输出具有可变输出频率的射频功率；匹配器中包括匹配电路和匹配器控制器，所述匹配电路中包括至少一个可变阻抗元件；射频电源用于输出脉冲式射频功率，所述脉冲式射频功率在多个脉冲输出阶段间切换，每个脉冲输出阶段中从输出射频功率稳定的ts时刻到t1为基本匹配段，在基本匹配段中的输出频率持续变化，且可变阻抗元件持续变化，快速达到基本匹配状态；从t1到t2为精确匹配段，在精确匹配段中所述输出频率停止变化，所述可变阻抗元件持续变化最终达到精确匹配状态。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息84条，专利信息1667条，此外企业还拥有行政许可88个。

成都英杰晨晖科技有限公司，成立于2023年，位于成都市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19111.7639万人民币。通过天眼查大数据分析，成都英杰晨晖科技有限公司参与招投标项目5次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可3个。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员