提到国之重器,

你联想到的是否都是

那些可以“上天入海”的

庞然大物?

然而今天,

小新要给大家讲述的这件重器

却无色无形、微如点滴。

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它看上去“不起眼”,

却是中国芯片产业不可或缺的重要组成。

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芯片制造,竟然要“洗澡”!

芯片线路微细至3纳米,

仅相当于头发丝直径的两三万分之一。

一粒肉眼不可见的尘埃,

一丝微乎其微的杂质,

都可能造成“山崩地裂”的危害,

直接损毁芯片架构,

导致短路、漏电乃至整片晶圆报废。

因此,在芯片制造的过程中,

往往需经历数百道清洗工序,

占据总工序的30%以上

可以说,

清洗工序是决定芯片良率的关键环节。

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那么,

到底应该用什么来洗涤呢?

普通水?不行。

自来水里的离子、颗粒、细菌等,

每一样都是

损坏芯片的“潜在凶手”。

给芯片“洗澡”必须用超纯水——

没有细菌、没有颗粒、

没有离子、没有溶解气体……

如果用四个字来形容

那便是“极致纯净”。

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但是,光洗干净还不够,

无痕干燥同样决定芯片成败。

超纯水清洗之后,

接下来就轮到

电子级异丙醇(IPA)登场了。

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追求“极致纯净”,到底有多难?

极致纯净,

是电子级异丙醇最重要的特征。

为了衡量这种纯净度,

我们需要引入一个概念:

PPM(百万分之一)

如果说工业异丙醇的

最高质检量级PPM

相当于在一个200升的浴缸水中

检测出一滴墨水,

那么电子级异丙醇的

最高质检量级PPT(万亿分之一)

则要从一个体量约等于两个未名湖的

湖泊中(约为20万立方米)

找出那一滴墨水。

从PPM到PPT,

一个字母的差别,

精度要求陡增百万倍,

方法体系、环境条件、

操作逻辑也需要跟着升级。

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长期以来,

因为极高的技术壁垒,

这种核心“清洗液”的供给

都被国外企业牢牢把控。

不仅价格昂贵,

而且交货期漫长,

周期长达数月,

更存在被“卡脖子”的断供风险。

这既是我国芯片产业

自主道路上的一大阻碍,

也是必须克服的挑战。

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打破垄断!

中国石油五十年磨一“剑”

如今,

这一困扰我国芯片产业多年的重大难题

中国石油锦州石化

依托五十载产业深耕

与迭代升级成功破解。

中国石油锦州石化生产的

G5级电子异丙醇

作为芯片干燥脱水的关键溶剂,

能完美置换晶圆表面水分,

实现无水痕、无残留的极致干燥,

且温和无腐蚀,

完美适配7nm、14nm先进制程,

并可支撑更先进工艺节点。

纯度要求达到99.9999%

金属杂质含量控制在万亿分之一级别,

容不下任何一丝瑕疵,

成为当前芯片清洗界可靠的“主力军”。

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早在1976年,

中国石油锦州石化

便建成了当时亚洲最大、

国内唯一的异丙醇生产基地。

以超六成的市场份额引领国内行业发展,

并主导制定了异丙醇国家标准。

“十四五”规划末期,

锦州石化G3/G5级异丙醇装置建成投产,

成为国内第一家实现

高端电子级异丙醇

规模化生产的央企

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作为国内唯一拥有

专业异丙醇应用技术研发队伍的企业,

中国石油锦州石化实现了原料自给,

并拥有完全自主知识产权与研发核心技术。

尤其值得瞩目的是,

这支专业异丙醇应用技术研发队伍

——电子级IPA生产团队,

是一支平均年龄仅26岁的年轻团队

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中国石油锦州石化将

最核心的装置托付给了

这群刚走出校门的年轻人。

没有经验可循,

便在建设中“摸爬滚打”;

没有规范可依,

便在试生产中归纳沉淀。

短短几年间,

他们与装置共同成长,

淬炼成为支撑大国产业的中坚骨干。

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如今,中国石油锦州石化生产的

G5级电子异丙醇

已实现稳定供货、出口海外,

关键指标长期稳定优于国际行业标准,

在全球高端电子化学品市场

亮出了中国实力。

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责任编辑丨陈伊南

校对丨陈婷 程镜睿

执行主编丨张灏然

内容来源丨中国石油