国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种下电极组件、下电极组件控制方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121885496A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种下电极组件、下电极组件控制方法和半导体工艺设备，该下电极组件包括：聚焦环，晶圆承载装置，射频电源，检测模块和控制模块，聚焦环环绕晶圆承载装置的承载面设置，检测模块与控制模块连接；射频电源用于向晶圆承载装置的偏压电极和聚焦环施加射频电压；检测模块用于获取聚焦环下表面的第一射频电压信号和承载面上的晶圆下表面的第二射频电压信号；控制模块用于根据第一射频电压信号和第二射频电压信号判断下电极组件的工作状态是否正常，从而可以准确对下电极组件的工作状态进行监测，避免了设备打火。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1405次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员