在半导体与先进材料制造的赛道上，真空环境的纯净度，直接决定薄膜品质、器件良率与长期可靠性。分子束外延（MBE）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等核心工艺，对微量气体污染零容忍。RGA残余气体分析仪，正是捕捉痕量杂质、锁定污染源头、完成材料渗透率测试的“火眼金睛”。
长期以来，高端残余气体分析市场被进口品牌占据，不仅成本高、交付慢，售后响应也难以匹配国内产线节奏。随着国产替代加速，一批深耕质谱技术的企业迎头赶上，上海爱柯锐（ACT）便是其中的标杆力量。
爱柯锐自成立起，便专注质谱技术研发与产业化落地。核心团队汇聚高校、科研院所及真空行业资深专家，平均拥有十年以上研发经验，深谙半导体制程与真空检测的底层逻辑。从离子源设计到检测器优化，从算法迭代到系统集成，团队坚持自主创新，打造出适配国内科研与量产场景的PGT系列RGA残余气体分析仪，以硬核性能打破进口依赖，为用户提供高性价比的完整解决方案。
PGT系列覆盖PGT100F、PGT100M、PGT200F、PGT200M四款机型，精准匹配实验室研发与规模化产线的不同需求。100/200amu双档质量数范围，可全面覆盖工艺气体、污染物及分解产物检测；分辨率优于1amu，能清晰区分相近质量数气体，让鉴别痕迹污染物更精准。
仪器采用涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝可选配置，兼顾耐用性与抗中毒能力，适配复杂真空工况。FC与EM两种检测器模式灵活切换，FC模式灵敏度达2.3E-6A/Pa，EM模式更是高达3.8A/Pa，最小可检测分压低至2E-12Pa，轻松捕捉极微量气体，完美支撑材料渗透率测试等高精度实验。
严苛工况下的稳定性，是RGA的核心价值。PGT系列传感器最高可耐受200℃工作温度，支持300℃高温烘烤，彻底消除腔体放气干扰；温度系数＜1%/℃，长时间运行数据漂移极小，2ms高速数据采集，可实时追踪工艺过程气体变化，最大工作压强达6.7E-2Pa，兼容各类真空系统。整机采用24V直流供电，安装简洁、适配性强，无缝对接MBE、PVD、CVD、ALD等设备。
凭借稳定可靠的品质与完善的服务体系，爱柯锐PGT系列RGA已进入国内众多高校、科研院所及头部半导体企业，成为薄膜沉积、真空质控、材料分析等场景的首选设备。公司构建稳定的国产化供应链，在保证性能比肩进口产品的同时，大幅降低采购与运维成本，交付更快、售后更及时，真正做到“国产高性能、全球竞争力”。
从实验室前沿研究到工厂量产质控，从痕量污染溯源到材料渗透率评估，爱柯锐以技术初心守护真空纯净，以国产匠心赋能先进制造。未来，爱柯锐将持续深耕质谱与真空检测领域，不断迭代升级PGT系列RGA残余气体分析仪，为中国半导体及新材料产业自主可控，贡献坚实的仪器力量。
PGT系列RGA核心技术参数一览
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