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一、等离子源系统

该设备搭载射频等离子发生器，工作频率为 13.56MHz，输出功率 500W 且支持调节，可根据不同清洗工艺需求灵活控制等离子体强度。

二、真空腔体

腔体采用 石英玻璃 材质，内部尺寸为 Φ160mm × 深250mm（直径160毫米、深度250毫米），腔体总容积为 5L，适用于中小型精密零件的表面处理。

三、真空系统

真空泵选用 爱特品牌，设备工作真空度范围为 5Pa 至 30Pa。选配组件丰富，包括 亚德客真空表、瞳妆浮子流量计、正华真空计 以及 SEVENSTAR 质量流量计，可满足多种工艺监控需求。

四、气路控制

设备 标配2路气体通道，支持根据实际工艺定制扩展。气体流量可调，适用气体涵盖 氩气（Ar）、氮气（N₂）、四氟化碳（CF₄）、氧气（O₂）及氢气（H₂），覆盖常规等离子清洗所需的大部分工艺气体。

五、电控系统

该设备采用 自动+手动触控式全中文界面，人机交互友好。核心控制由 顾美一体机（PLC+触摸屏）负责，开关电源选用 台湾明伟。变频控制系统可根据实际工况 自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定。软件程序为 自主专利设计的等离子控制系统，支持三级权限管理，具备自动/手动双模式切换、配方参数的设定/存储/调用、报警历史查询及 IO 监控功能。报警功能覆盖真空度、辉光、功率、气压等关键指标，通过 蜂鸣器+显示屏双重提示 实现实时监控报警。

六、进气系统

气体控制系统采用 日本 SMC 电磁阀，气压监测配备 日本 SMC 减压阀及压力报警表。进气管路组件为 Φ8mm 软管+不锈钢套管路，确保气体输送稳定可靠。

七、泄压系统

破真空组件由 挡板阀+节流阀+消音器 组成，实现快速、平稳且低噪音的泄压操作。

八、整机参数

设备外形尺寸为 650×480×420mm（宽×深×高），整机重量 55kg，额定总功率 1.5KW，结构紧凑，适合实验室及产线台面部署。