国家知识产权局信息显示,晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请一项名为“用于优化分区阳极最佳电流分配方案的数值模拟方法”的专利,公开号CN121920122A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了用于优化分区阳极最佳电流分配方案的数值模拟方法,其包括如下步骤:S1、依据晶圆和电镀设备实物,建立相应的几何模型;S2、依托电镀原理,在几何模型上适配相应的计算公式与边界条件;S3、构造优化目标函数与设置相应的优化变量;S4、进行模型网格的剖分与计算。本发明通过建立几何模型,基于界面总电流密度与局部电流密度建立优化目标函数,将晶圆表面凸块高度均一性寻优转化为电流分布均匀性寻优,从而通过数值模拟计算出最佳电流分配方案,即可确保凸块高度均一性最优,有效节约时间成本和材料成本,此外不受晶圆表面图案变化的限制,具备实用性与鲁棒性。

天眼查资料显示,晟盈半导体设备(江苏)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3699.5111万人民币。通过天眼查大数据分析,晟盈半导体设备(江苏)有限公司财产线索方面有商标信息3条,专利信息53条,此外企业还拥有行政许可10个。

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作者:情报员