国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于深结构计量的具有经检测器分辨数值孔径的光谱椭圆偏振测量”的专利，公开号CN121925553A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本文中呈现用于利用在检测器处分辨的收集NA执行半导体结构的光谱椭圆偏振测量的方法及系统。收集NA定义小的测量盒大小。在检测器处分辨收集NA会显著提高测量灵敏度。在一些示例中，收集NA在检测器处被细分成50到100个子范围。在一些实施例中，采用收集NA的经角度分辨检测的光谱椭圆偏振仪包含跨越从400纳米到2,500纳米的波长范围而具有高光谱强度的相干照明源。在一些实施例中，在测量期间使照明束以高频率在被测量样品的表面之上进行扫描。利用经检测器分辨的收集NA的光谱椭圆偏振测量使得能够对根据当前半导体制作节点来制作的深结构以及经考虑在未来半导体制作节点处制作的那些深结构进行临界尺寸、形状及轮廓测量以及膜测量。

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作者：情报员