国家知识产权局信息显示，珠海普伊特自动化系统有限公司申请一项名为“一种往复高温镀膜工艺槽”的专利，公开号CN121915376A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明公开了一种往复高温镀膜工艺槽。该工艺槽包括：槽体、溅射镀膜部、第一加热部、第二加热部、滚筒输送部及载具；槽体内腔分隔为溅射镀膜腔以及位于溅射镀膜腔两端的左加热腔、右加热腔，溅射镀膜腔通过两个隔板的连通端口连通左加热腔、右加热腔；溅射镀膜部安装在溅射镀膜腔上端；第一加热部安装在左加热腔上端；第二加热部安装在右加热腔上端，第二加热部和第一加热部能够使各自所在腔体的温度分别为基片镀膜不同阶段所需工艺温度；滚筒输送部带动载具在左加热腔、溅射镀膜腔以及右加热腔之间往复运动。本发明具有槽体结构简单、槽体功能集成度高，对不同工况的工艺兼容性更强的效果。

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作者：情报员