国家知识产权局信息显示,海纳半导体(金华)有限公司申请一项名为“一种基于超声波探头的游星轮厚度自动化检测系统”的专利,公开号CN121928464A,申请日期为2026年2月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于超声波探头游星轮厚度自动化检测系统,涉及半导体研磨工艺检测技术领域,本发明通过设置带有柔性密封结构的探头,利用游星轮表面残留液体形成微型液腔实现准干式耦合,并控制探头在多个预设位置进行测量,结合旋转工位获取全面厚度数据;采用信号处理模块对回波信号进行滤波、多次回波平均计算及温度补偿,以得到高精度厚度值,并依据固定与动态阈值判断磨损状态,实现游星轮厚度的自动化、高精度在线检测与预警。

天眼查资料显示,海纳半导体(金华)有限公司,成立于2023年,位于金华市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本46800万人民币。通过天眼查大数据分析,海纳半导体(金华)有限公司参与招投标项目7次,专利信息2条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员