高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率,拥有极高的可拓展性和可集成性。

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1、典型应用

样品检验

精密微组装

光路切换

显微及纳米CT

机器视觉

半导体检测

2、技术特点

高精度、高稳定性

高运动速度

轻量化设计且结构紧凑

支持开环和闭环模式

超高真空兼容性

可提供轴心补偿模块抑制轴心晃动

高可靠性及模块化设计,摩擦单元可替换

满足各种应用场景

3、2D尺寸图

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4、规格参数

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5、适配控制器

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