国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板加工方法、制造方法及基板加工装置”的专利，公开号CN121969051A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，提供一种基板加工方法、制造方法及基板加工装置。基板加工方法包括：液体处理操作，将处理液体供应到所述基板；干燥操作，从所述基板上去除在所述液体处理操作中供应的所述处理液体；以及线宽校正操作，校正在所述液体处理操作中形成在所述基板上的图案的线宽，其中，所述线宽校正操作包括：通过向提供有所述基板的处理空间供应处理流体来校正所述图案的所述线宽，但将所述处理空间的压力控制为能够将所述处理流体维持在超临界或亚临界状态的压力。

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作者：情报员