国家知识产权局信息显示,至微半导体(上海)有限公司;合肥至微半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆夹持及其升降翻转装置”的专利,公开号CN121969111A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆夹持领域的一种晶圆夹持及其升降翻转装置,包括扁平化外壳、导杆组件、传动机构及柔性驱动件,导杆穿设于外壳周侧,传动机构置于壳内,通过旋转盘与连杆将平面旋转转化为导杆的径向伸缩,柔性驱动件一端偏心连接旋转盘,另一端连至外部驱动源,复位部件常态下驱动导杆内缩夹紧,升降翻转装置中,横臂连接翻转轴,两个夹持装置背对背固定于横臂一端,外部驱动源同侧安装于横臂。本发明通过扁平化设计显著降低了装置厚度与翻转惯量,利用柔性牵引实现了驱动解耦,有效解决了双面晶圆传输中翻转抖动及管线缠绕的技术难题。

天眼查资料显示,至微半导体(上海)有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析,至微半导体(上海)有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目36次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息308条,此外企业还拥有行政许可2个。

合肥至微半导体有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥至微半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目10次,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可12个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员