国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得一项名为“等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置”的专利,授权公告号CN224192118U,申请日期为2025年5月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置,涉及等离子体加工技术领域,其中,等离子体激发组件应用于等离子体产生装置,该等离子体产生装置包括等离子体产生主体,等离子体产生主体具有多个间隔设置的等离子体产生腔室,等离子体产生腔室用于通入工艺气体。等离子体激发组件则包括多个电感线圈,每一电感线圈对应一等离子体产生腔室设置,多个电感线圈串联或并联连接且与外部射频电源电连接,当等离子体激发组件通电工作时,电感线圈产生交变磁场并激发等离子体产生腔室内的工艺气体生成等离子体,设置多个电感线圈可减少能量损耗,提高电能到磁场能的转换效率,从而提升系统整体效率。

天眼查资料显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司,成立于2013年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6770.1688万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目17次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息327条,此外企业还拥有行政许可17个。

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作者:情报员