国家知识产权局信息显示,三星电子株式会社、细美事有限公司申请一项名为“地面运输装置以及包括该地面运输装置的物流处理系统”的专利,公开号CN121969093A,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,一种用于在半导体制造厂内运输容器的地面运输装置,包括:驱动控制器,被配置为在半导体制造厂的地面上移动该地面运输装置;壳体,在驱动控制器上;搁架结构,在壳体内并包括多个搁架;以及机械臂组件,在壳体内并与搁架结构间隔开。机械臂组件被配置为从多个搁架中的第一搁架移除容器,以及将容器放置在多个搁架中的第二搁架上。驱动控制器还被配置为在多个设施之间运输容器,并将容器存放在设置在半导体制造厂的地面上的地面存放装置中。多个设施中的每个设施包括基板处理装置。容器存放基板。

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作者:情报员