国家知识产权局信息显示,成都新紫光半导体科技有限公司申请一项名为“提升PVD镀膜均匀度的方法”的专利,公开号CN121951482A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本公开涉及一种提升PVD镀膜均匀度的方法,该方法包括:将晶圆的表面划分为至少两个不同的独立区域,在每个独立区域的表面设置独立的靶材和对应的独立的直流电源,其中,每个独立区域对应的靶材和直流电源电连接;通过控制系统对每个独立区域的沉积速率进行检测;根据检测数据,控制系统调整对应的独立区域的直流电源的功率,以使不同的独立区域的薄膜沉积均匀一致。通过将晶圆表面划分成多个独立区域,并为每个独立区域配备独立的靶材和直流电源,能够在沉积过程中更加精细地控制每个独立区域的沉积条件。这意味着能够在较大的晶圆表面上实现更加均匀的薄膜沉积,减少了传统单个靶材沉积时产生的均匀度差的现象。
天眼查资料显示,成都新紫光半导体科技有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,成都新紫光半导体科技有限公司专利信息88条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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