国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“基于延时补偿的机械手AWC标定方法及系统”的专利，公开号CN121946561A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本申请提出基于延时补偿的机械手AWC标定方法及系统，属于半导体制造装备自动化技术领域，方法包括：在机械手的运行速度为低速时，计算得到传感器在机器人基础坐标系中的位置；在机械手的运行速度为满速时，根据传感器在机器人基础坐标系中的位置以及传感器触发时机械手的位置，反解出晶圆半径；在反解晶圆半径过程中，构建延时补偿模型；针对构建的延时补偿模型进行延时校验，当校验结果为标定成功时，高速控制机械手向工位伸出，采用延时补偿模型进行纠偏。本申请解决了高速工况下因信号传输延时导致的AWC标定精度下降问题，降低了激光传感器基坐标标定以及高速运动下的晶圆圆心定位误差。

天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息53条。

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作者：情报员