国家知识产权局信息显示,拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司取得一项名为“镀膜设备”的专利,授权公告号CN224199473U,申请日期为2025年5月。
专利摘要显示,本申请提供了一种镀膜设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了传统的镀膜设备的喷淋结构使工艺气体分布不均、导致镀膜不均匀的技术问题。该镀膜设备包括:真空腔体;驱动组件;喷淋块,设置于真空腔室的顶部,并与驱动组件的第二端传动连接,喷淋块具有相对的第一进气端和第二进气端;两个及以上的进气管,分别穿过两个及以上的第二通孔,并分别连通至第一进气端和第二进气端;两个及以上的波纹管组件,分别套设于两个及以上的进气管。通过驱动组件驱动喷淋块沿第二水平方向运动,能够动态调整工艺气体在真空腔室内的出气位置,从而能够灵活调整真空腔室内不同位置处的工艺气体的浓度,改善不同位置处的片状材料的镀膜均匀性。
天眼查资料显示,拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司,成立于2019年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析,拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司参与招投标项目14次,专利信息366条,此外企业还拥有行政许可55个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴