国际商业机器公司申请具有顶部通孔的互连中的气隙结构专利,这种气隙可以扩展用于2nm技术节点及以下的BEOL互连缩放
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国家知识产权局信息显示,国际商业机器公司申请一项名为“具有顶部通孔的互连中的气隙结构”的专利,公开号CN121986598A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,提供了一种后道工序(BEOL)互连结构,包括位于金属线上的顶部通孔结构。气隙位于金属线和顶部通孔结构附近并围绕金属线和顶部通孔结构。气隙包括位于金属线附近的下部部分和位于顶部通孔结构附近的上部部分。这种气隙可以扩展用于2nm技术节点及以下的BEOL互连缩放。还提供了形成这种BEOL互连结构的方法。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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