近日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造头部企业后，华海清科离子注入系列装备在存储芯片领域的又一重要进展，市场渗透力持续增强，客户认可度再上新台阶。

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离子注入机是集成电路前道工艺的关键核心装备，技术壁垒高且长期由国际巨头垄断。华海清科自布局离子注入装备以来，稳步推进产品研发与产业化进程，自主研发的大束流离子注入机系列装备已陆续批量交付多家国内集成电路制造头部企业，并收获持续订单。

此次大束流离子注入机iPUMA-LE交付国内先进存储龙头企业，是对其稳定性、均匀性和工艺匹配能力的高度认可，进一步印证了华海清科离子注入装备的综合性能与量产可靠性，也为公司在存储芯片制造领域的市场拓展打开了更广阔的空间。

iPUMA-LE关键性能指标已达到国际先进水平，具备优异的束流传输效率、注入均匀性与角度控制能力，能够满足先进制程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求。华海清科在离子注入装备领域持续深耕，除大束流离子注入机系列装备已实现型号全覆盖外，中束流离子注入机系列装备也取得了阶段性进展，同时积极布局高能离子注入机系列装备，可全面服务于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、图像传感器等多元应用领域，满足客户对不同工艺节点与器件类型的多样化需求。

随着国内晶圆产能持续扩充及半导体产业链自主可控需求增强，离子注入机等核心前道装备的国产化替代空间进一步扩大。华海清科快速完成离子注入赛道的业务布局，进一步夯实了公司在前道核心工艺的装备根基，为“装备+服务”平台化战略布局的协同发展注入了强劲的动能。

目前，华海清科业务已覆盖化学机械抛光（CMP）、减薄、离子注入、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及关键耗材与维保服务等多个领域。未来，公司将继续秉持“客户导向 创新驱动 质量超越”的核心价值观，聚焦半导体制造核心工艺环节，不断丰富产品矩阵与服务能力，与产业链上下游伙伴紧密协作，为全球客户提供更具竞争力的高端装备与工艺集成解决方案，为我国集成电路产业的高质量可持续发展贡献力量。

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华海清科

股票代码 688120

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(华海清科 动态宝)