国家知识产权局信息显示，纽富来科技股份有限公司申请一项名为“图案检查装置、焦点位置调整方法及图案检查方法”的专利，公开号CN121986255A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明的一个方式的图案检查装置的特征为，具备：相关数据制作电路，使用在将形成有评价图案的评价基板载置在工作台上的状态下一边使评价基板的图案形成面的高度位置可变一边取得的、每个高度位置的用作自动聚焦控制的参数的自动聚焦信号和用于评价聚焦位置的聚焦评价值，制作自动聚焦信号与聚焦评价值的相关数据；检查用自动聚焦信号计算电路，使用在将形成有图形图案的被检查基板载置在工作台上的状态下一边使被检查基板的图案形成面的高度位置可变一边取得的、每个高度位置的自动聚焦信号和聚焦评价值、以及评价基板的相关数据，计算在被检查基板中得到阈值以上的聚焦评价值的检查用自动聚焦信号；以及自动聚焦机构，将被检查基板的图案形成面的高度位置调整为与检查用自动聚焦信号的值对应的图案形成面的高度位置。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员