来源：新浪证券-红岸工作室

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“晶棒处理设备和晶棒处理方法”的专利。申请公布号为CN121945472A，申请号为CN202610120374.X，申请公布日期为2026年5月1日，申请日期为2026年1月28日，发明人郭宏雁、黄兆皓，专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司，专利代理师吴立臣，分类号B08B3/02、B08B3/08、B08B13/00、F26B21/55、G01D21/02。

专利摘要显示，本发明提供一种晶棒处理设备和晶棒处理方法，晶棒处理设备包括：清洗结构，多个向晶棒喷射清洗液的喷头；旋转结构，用于在对晶棒进行清洗时，带动所述晶棒旋转。所述旋转结构用于在处理晶棒的过程中，带动晶棒绕其轴线旋转，所述清洗结构包括朝向晶棒喷射清洗液的多个喷头，通过旋转运动与定向喷射的结合，实现对晶棒的外表面的全面、自动化清洗。采用本公开提供的晶棒处理结构，不仅提升了清洗的一致性与彻底性，也避免了人工操作可能导致的清洗盲区、晶棒滑落等问题，提高了处理过程的安全性和效率。

西安奕材于2016年3月16日成立，2025年10月28日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司是国内专注12英寸硅片研发、生产与销售的企业，在半导体材料领域具备一定技术实力，具有投资价值。

西安奕材主营业务为专注于12英寸硅片的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料，所属概念板块有昨日高换手、国家大基金持股、新股与次新股。

2025年，西安奕材营业收入26.49亿元，在26家行业企业中排名第6，高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元，但远低于行业第一名有研新材的95.42亿元和第二名雅克科技的86.11亿元。其主营业务中，测试片收入10.42亿元占比39.33%，抛光片9.84亿元占比37.15%，外延片6.1亿元占比23.03% 。不过，公司当期净利润为 -7.38亿元，在行业中排名25/26，远低于行业第一名雅克科技的10.3亿元和第二名江丰电子的4.14亿元，也低于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元。

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉发明专利公布CN202610346716.X2026-03-20CN121931598A2026-04-28杨文武、宁沛娜2晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓3硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610079762.82026-01-21CN121865865A2026-04-14贾志怡4控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒发明专利公布CN202512010297.02025-12-29CN121653837A2026-03-13杨文武、宁沛娜5半导体制造设备，及其尾气处理方法、系统发明专利公布CN202512010197.82025-12-29CN121944738A2026-05-01杨文武、宁沛娜6拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511996021.82025-12-26CN121675079A2026-03-17杨文武、宁沛娜7一种晶圆的抛光方法以及晶圆发明专利公布CN202511956856.02025-12-23CN121941286A2026-04-28贾磊、杨新元、王明8抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法发明专利公布CN202511911677.52025-12-17CN121624982A2026-03-10王鹏、许涛、杨启9晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓10单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉发明专利公布CN202511905877.X2025-12-17CN121951677A2026-05-01潘浩、崔源进、张鹏举11一种晶圆清洁系统及方法发明专利公布CN202511907326.72025-12-17CN121969052A2026-05-01康建12线切割装置及线切割取样方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511899233.42025-12-16CN121403584A2026-01-27王晋飞13一种电阻率测试装置及方法发明专利公布CN202511897839.42025-12-16CN121917845A2026-04-24贺鹏14清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质发明专利公布CN202511866027.32025-12-11CN121665982A2026-03-13张树星、陈海龙、夏新超、左斌15一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超16热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋17一种籽晶倾斜检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511855413.22025-12-10CN121366283A2026-01-20彭标、孙洪涛18一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩19一种砂轮参数确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511854835.82025-12-10CN121580854A2026-02-27李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉20一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙21一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙22半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质发明专利公布CN202511854133.X2025-12-10CN121978104A2026-05-05李康康23缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511842176.62025-12-09CN121969119A2026-05-01程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣24晶圆检测方法及相关装置发明专利公布CN202511837367.32025-12-08CN121665979A2026-03-13吕天爽25晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511840689.32025-12-08CN121874923A2026-04-17赵亮26一种单片清洗装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511840630.42025-12-08CN121888884A2026-04-17左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超27硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓28硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511840788.12025-12-08CN121874924A2026-04-17彭标、孙洪涛29一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511840660.52025-12-08CN121925097A2026-04-24史铁柱、庞鲁、王龙30单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备发明专利公布CN202511826516.62025-12-05CN121538725A2026-02-17杨松、赵亮31绝缘体上硅衬底及其制备方法、射频绝缘体上硅晶圆发明专利公布CN202511830184.92025-12-05CN121908606A2026-04-21张博、兰洵、车宇航、王文娟、刘贵浩32晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202511815254.32025-12-04CN121604750A2026-03-03党快乐、兰洵33一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片发明专利实质审查的生效、公布CN202511817716.52025-12-04CN121870547A2026-04-17郭宏雁、陈祖庆34硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511772774.02025-11-28CN121374876A2026-01-23王黎昱、陈曦鹏35一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫36晶圆处理方法及装置、电子设备发明专利公布CN202511775486.02025-11-28CN121548286A2026-02-17张城旗、苏艳宁、王黎昱37晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇38半导体晶圆及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511779796.X2025-11-28CN121865669A2026-04-14刘贵浩、兰洵、车宇航、王文娟、张博39一种用于晶棒生长的控制装置、方法以及拉晶炉发明专利公布CN202511762453.22025-11-27CN121556142A2026-02-24蔡媛媛40化学机械抛光设备及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511755819.32025-11-27CN121696842A2026-03-20王泽康41改善晶圆平坦度的方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511766166.92025-11-27CN121756221A2026-03-31习恒42一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰43一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军44硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申45载具搬运方法、系统、装置及计算设备发明专利公布CN202511764667.32025-11-27CN121925077A2026-04-24李迅、范东方、王贵石、张更46一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫47一种拉晶收尾控制方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511755172.42025-11-26CN121629510A2026-03-10刘锦章48单晶硅棒的磨削控制方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511759290.22025-11-26CN121733370A2026-03-27闫旭斌49晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊50一种晶圆的清洗控制方法、设备、晶圆及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511742590.X2025-11-25CN121620113A2026-03-06党快乐、兰洵

天眼查数据显示，西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日，法定代表人刘还平，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为中型，注册资本660000万人民币，实缴资本660000万人民币，注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目379次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息1063条，拥有行政许可54个。

西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓2晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓3一种电阻率测试装置及方法发明专利公布CN202511897839.42025-12-16CN121917845A2026-04-24贺鹏4一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超5热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋6一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩7一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙8一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙9半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质发明专利公布CN202511854133.X2025-12-10CN121978104A2026-05-05李康康10缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511842176.62025-12-09CN121969119A2026-05-01程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣11硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓12一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511840660.52025-12-08CN121925097A2026-04-24史铁柱、庞鲁、王龙13一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫14晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇15一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰16一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军17硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申18载具搬运方法、系统、装置及计算设备发明专利公布CN202511764667.32025-11-27CN121925077A2026-04-24李迅、范东方、王贵石、张更19一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫20晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊21确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511722852.62025-11-21CN121837362A2026-04-10李康康22一种包装袋折袋装置及方法发明专利公布CN202511711385.72025-11-20CN121536561A2026-02-17李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰23在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711576.32025-11-20CN121589713A2026-03-03王俊夫24晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511712015.52025-11-20CN121903418A2026-04-21秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡25一种清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511659712.92025-11-13CN121468400A2026-02-06蔡培锋、周勤学26一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质发明专利公布CN202511664476.X2025-11-13CN121832444A2026-04-10王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰27用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511655376.02025-11-12CN121740778A2026-03-27付子成、党志伟28用于抛光载盘的预清洗装置、自适应抛光系统及清洗方法发明专利公布CN202511645965.02025-11-11CN121821244A2026-04-10王俊夫29改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511602298.82025-11-04CN121132500A2025-12-16杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东30工艺腔室的判定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511592258.X2025-11-03CN121443034A2026-01-30孙毅、韩喜盈31用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备发明专利公布CN202511551473.52025-10-28CN121670508A2026-03-17马驰、杨轩、王俊夫32校准系统及校准方法发明专利公布CN202511515728.22025-10-22CN121666003A2026-03-13杨舒乐33硅片处理装置及方法发明专利公布CN202511499502.82025-10-20CN121665970A2026-03-13郭宏雁、郝胤祚、马成琛、冯智、赵栋、贾晓东34研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511479663.02025-10-16CN121083517A2025-12-09樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫35一种硅片加工方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511480666.62025-10-16CN121310863A2026-01-09蔡培锋、周勤学36砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511418705.X2025-09-30CN121104902A2025-12-12朱海海37抛光垫清洗装置及抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511425890.52025-09-30CN121267779A2026-01-06王俊夫、马驰、杨轩38一种硅片缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511418677.12025-09-30CN121358253A2026-01-16史铁柱、庞鲁、王龙、贺鹏、原宇乐39晶圆的金属水平检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511426097.72025-09-30CN121510933A2026-02-10高坤、林可、李康康40一种用于检测薄膜沉积异常的装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511347420.12025-09-19CN121443032A2026-01-30程辰辰、郝宁41硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511297217.82025-09-11CN121149050A2025-12-16贾帅、王力42外延反应腔室恢复方法和外延生长装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511274241.X2025-09-08CN121137798A2025-12-16韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯43晶圆加工设备的状态检测方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511219751.72025-08-28CN121275374A2026-01-06李昊、刘永亮、胡斌44一种外延生长设备和外延生长方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511206362.02025-08-27CN121250545A2026-01-02马成琛、郭盾、贾晓东、郝胤祚45一种拦截策略确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511189436.42025-08-25CN121051383A2025-12-02马强强、万珣46一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511111982.62025-08-08CN121190956A2025-12-23叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚47晶圆的处理方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511102765.02025-08-07CN120854308A2025-10-28杨震、王雷、王琳48用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件发明专利实质审查的生效、公布CN202511092282.72025-08-05CN121130583A2025-12-16赵栋、叶森、郝胤祚、冯智49一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510965838.22025-07-14CN120895461A2025-11-04郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆50双面研磨装置和双面研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863147.12025-06-25CN120461314A2025-08-12郭宏雁、王俊夫

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