来源：新浪证券-红岸工作室

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置”的专利。申请公布号为CN121985796A，申请号为CN202512042015.5，申请公布日期为2026年5月5日，申请日期为2025年12月30日，发明人王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠，分类号H10P95/90。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置，其中，晶圆激光退火的控制方法包括：对激光光束进行整形，使整形后的激光光束的加工参数信息达到预设要求；根据场镜最大幅面限制和光斑畸变允许要求，设置振镜使用幅面；根据加工参数信息，确定标定扫描速度和扫描行间距；判断晶圆尺寸数据是否小于或等于振镜使用幅面；若是，则采用振镜扫描方式对晶圆进行退火加工；若否，则采用振镜扫描方式对晶圆的第一区域进行退火加工，采用振镜扫描和位移台联动方式对晶圆的第二区域进行退火加工，其中，第一区域为晶圆位于振镜使用幅面的范围内的区域，第二区域为晶圆除第一区域以外的其余区域。通过上述方式，能够提高加工效率。

天眼查数据显示，浙江求是半导体设备有限公司成立日期2018年5月11日，法定代表人陆晓雯，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本10000万人民币，实缴资本5000万人民币，注册地址为浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室。浙江求是半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目27次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息330条，拥有行政许可10个。

浙江求是半导体设备有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置发明专利公布CN202512042015.52025-12-30CN121985796A2026-05-05王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠2一种石英坩埚缺陷检测设备发明专利公布CN202512037116.32025-12-29CN121678539A2026-03-17刘华、沈华、曾若琪、陈双、傅林坚3晶片脱胶分片设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512016347.62025-12-29CN121865877A2026-04-14谢龙辉、王俊、刘彪、王凯、张江水、朱亮4硅晶圆图像缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511794555.22025-12-01CN121811100A2026-04-07傅林坚、刘华、陈建华、苏奥远、陈双5晶圆形貌检测数据的补偿方法发明专利授权CN202511576838.X2025-10-30CN121025985B2026-01-30王悦、朱亮、王佳锋、王淼操、金子乾6测温结构及立式炉管发明专利授权、实质审查的生效CN202511339634.42025-09-17CN120820244B2025-12-02曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、朱亮、刘毅、谢文、徐晓望7气体环境管理系统、方法及碳化硅外延炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511310193.52025-09-12CN120797192A2025-10-17曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、刘毅、牛浩然、张磊8滚磨方法及滚磨设备发明专利授权、公布CN202511178401.02025-08-21CN120663197B2025-10-21王金荣、朱亮、曹建伟、胡银纲、钟杨波9一种晶圆修边方法、系统及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511001356.12025-07-21CN120696880A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银、潘斌10一种晶圆加工补偿方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510999482.42025-07-21CN120697196A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银11基于视觉系统的钻石磨削加工方法发明专利授权、公布CN202510977439.82025-07-16CN120461194B2025-11-07王金荣、曹建伟、朱亮、钱勇明、林少健、祝永康12放肩拉速控制方法、装置、设备、介质及程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510949604.92025-07-10CN120443329B2025-09-26傅林坚、刘华、熊世剑、戈忠信13放肩生长过程的融合控制方法、装置和电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510955511.72025-07-10CN120876382A2025-10-31刘华、熊世剑、傅林坚14一种切割方法和切割装置发明专利授权、公布CN202510937380.X2025-07-08CN120516227B2025-10-17王金荣、朱亮、王悦、李思东、金峰15一种碳化硅激光隐形切割方法和装置发明专利公布CN202511600677.32025-07-08CN121535352A2026-02-17王金荣、朱亮、王悦、李思东、金峰16激光退火装置及使用该激光退火装置的激光退火方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510899319.02025-06-30CN120895495A2025-11-04王悦、朱亮、俞晨阳、陈淑楠、金子乾17一种微孔加工装置和加工方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510890696.82025-06-27CN120363348A2025-07-25王金荣、朱亮、曹建伟、邓江山、樊叶萍18微孔加工装置、方法及系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510887920.82025-06-27CN120363347B2025-09-19王金荣、朱亮、曹建伟、邓江山、梁永峰19一种晶片刷洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510864247.62025-06-25CN120809608A2025-10-17谢龙辉、张江水、王俊、张晓斌、孟晓帅、王凯、曾杰20一种晶片分道单元和分道方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510864964.92025-06-25CN120878611A2025-10-31谢龙辉、张江水、王俊、张晓斌、孟晓帅、王凯、曾杰21晶圆上料装置及清洗机发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510792190.32025-06-13CN120319705B2025-09-12谢龙辉、张杭军、张江水、王凯、靳韶波、赵文杰22晶圆清洗机发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510790327.12025-06-13CN120325616B2025-09-12张杭军、张江水、王凯、靳韶波、刘明潇、赵文杰23晶圆上料对准方法、装置、电子设备和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510798148.22025-06-13CN120839668A2025-10-28刘华、葛旭、胡鑫达、沈华、傅林坚24一种涂布机的干燥工艺和干燥装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510784342.52025-06-12CN120551034A2025-08-29王金荣、朱亮、曹建伟、杨志泉25一种掰片方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510786692.52025-06-12CN120620468A2025-09-12王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基、焦荣辉26碳化硅分选机发明专利实质审查的生效、公布CN202510757676.32025-06-06CN120268658A2025-07-08朱亮、吴霏霏、谢龙辉、李凤翔、王佳锋、李贞周、金鑫27晶圆寻边扫码方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510758476.X2025-06-06CN120280383B2025-09-19刘华、谢龙辉、吴霏霏、李凤翔、高莺旗、李贞周28晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510760294.62025-06-06CN120280366B2025-09-19谢龙辉、朱亮、吴霏霏、李凤翔、高莺旗、王佳锋、李贞周29晶圆承载装置及外延设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510749628.X2025-06-05CN120250150B2025-08-15刘毅、傅林坚、余婷、曹建伟、梁旭、周文龙30电池串替片返修方法及返修装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511093093.12025-06-05CN121126935A2025-12-12朱亮、卢嘉彬、曹建伟、傅林坚、阮佳豪31电池串替片返修方法及返修装置发明专利授权CN202510745100.52025-06-05CN120302763B2025-12-26朱亮、卢嘉彬、曹建伟、傅林坚、阮佳豪32基于激光隐形的晶片加工方法发明专利授权、公布CN202510734777.92025-06-04CN120244307B2025-10-31盛永江、欧阳鹏根、刘小琴、杨水淼、赵阳阳、李佳强、丁津伟33一种晶圆双面减薄装置和方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510496819.X2025-04-18CN120023711B2025-07-04朱亮、李阳健、魏圳辰、杜淦浩、孙佳椿34一种减薄装置和方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510494370.32025-04-18CN120002544B2025-07-11朱亮、李阳健、赵志鹏、丁龙35一种晶圆双面减薄方法和系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510488822.72025-04-18CN120038618B2025-07-29朱亮、李阳健、魏圳辰、杜淦浩36一种减薄装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510866508.82025-04-18CN120645116A2025-09-16朱亮、李阳健、赵志鹏、丁龙37一种晶圆双面减薄方法和系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510805306.22025-04-18CN120715743A2025-09-30朱亮、李阳健、魏圳辰、杜淦浩38冷却结构及化学气相沉积设备实用新型授权CN202520696666.92025-04-14CN224077529U2026-04-03曹建伟、刘毅、傅林坚、朱亮、张磊、龚碧瑶、杨斌39改性镀镍金刚石微粉、电镀金钢线发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510437375.22025-04-09CN119932666B2025-07-08苏剑、邱文杰、王耀光、陈康、黄喆、汪磊40碳化硅晶锭加工方法及加工系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510445458.62025-04-09CN119952304B2025-07-08欧阳鹏根、盛永江、刘小琴、杨水淼、赵阳阳、丁津伟41晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510447256.52025-04-09CN119962621B2025-07-15刘华、赵翔宇、龚志鹏、傅林坚42碳化硅晶锭激光切割方法及切割系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510437342.82025-04-08CN119927468B2025-06-17欧阳鹏根、刘小琴、盛永江、杨水淼、赵阳阳、李佳强43自动调整晶圆减薄厚度的控制方法和装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510412586.02025-04-02CN119987320B2025-06-24刘华、李恒、傅林坚44研磨盘倾角自调节方法、装置和晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510407524.02025-04-01CN119910566B2025-06-13傅林坚、刘华、李恒、童佳妮、赵翔宇45晶圆研磨加工去除率的预测模型的训练方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510405262.42025-04-01CN119917864B2025-07-08傅林坚、刘华、赵翔宇、龚志鹏、李恒46断线异常预测方法、装置和计算机设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510406534.22025-04-01CN119917844B2025-07-15刘华、赵翔宇、杨洁、李恒47晶圆取片方法、检测设备以及晶圆取片控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510403055.52025-04-01CN120432417A2025-08-05刘华、谢龙辉、张杭军、蒲涛、赵旗、王凯、柴宏录、赵文杰48晶圆清洁装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510400734.72025-03-31CN120432404A2025-08-05谢龙辉、张杭军、蒲涛、王凯、夏希林、赵旗、柴宏录、赵文杰49一种电池片加工方法和装置发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510391718.62025-03-28CN119923016A2025-05-02朱亮、曹建伟、傅林坚、卢嘉彬、高红刚、王鑫50一种倒角设备和方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510397851.22025-03-28CN119897775B2025-06-24朱亮、李阳健、赵志鹏、先泽文

晶盛机电成立于2006年12月14日，于2012年5月11日在深圳证券交易所上市，注册地址位于浙江省绍兴市，办公地址位于浙江省杭州市。它是国内领先的光伏设备制造商，专注晶体生长设备，具备全产业链技术优势，投资价值凸显。

晶盛机电主营业务为晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售，所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，涉及BC电池、单晶硅、太阳能概念等板块。

2025年，晶盛机电营业收入达113.57亿元，在行业12家公司中排名第2，行业第一名捷佳伟创为154.72亿元，行业平均数为56.11亿元，中位数为45.56亿元。其主营业务中，设备及其服务收入84.03亿元，占比73.98%；材料收入24.62亿元，占比21.67%；其他收入4.93亿元，占比4.34%。净利润方面，2025年为8.59亿元，同样在行业12家公司中排名第2，行业第一名捷佳伟创为26.18亿元，行业平均数为5.17亿元，中位数为2.96亿元。

浙江晶盛机电股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1单晶硅拉制工艺用超导磁体及工艺磁场的调节方法发明专利公布CN202610091348.92026-01-22CN121983407A2026-05-05朱亮、张瀛、牛加振、张锋、吴志彬2一种晶棒检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512036521.32025-12-30CN121702304A2026-03-20张杭军、曹震、朱肖营、王久洲、康新领、张广犬3晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置发明专利公布CN202512042015.52025-12-30CN121985796A2026-05-05王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠4一种减薄方法和装置发明专利公布CN202512015532.32025-12-29CN121624664A2026-03-10王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基5碳化硅晶锭粘接装置及方法发明专利公布CN202512016071.12025-12-29CN121653848A2026-03-13曹建伟、朱亮、王金荣、沈振宏、董凯6一种石英坩埚缺陷检测设备发明专利公布CN202512037116.32025-12-29CN121678539A2026-03-17刘华、沈华、曾若琪、陈双、傅林坚7一种陶瓷基板加工方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023049.X2025-12-29CN121716170A2026-03-24王金荣、朱亮、杨志泉、金峰8一种陶瓷基板加工的流延方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512015965.92025-12-29CN121733686A2026-03-27王金荣、朱亮、杨志泉9一种陶瓷基板加工的脱泡方法、系统、设备及存储介质发明专利公布CN202512037177.X2025-12-29CN121819405A2026-04-10王金荣、朱亮、杨志泉10晶片脱胶分片设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512016347.62025-12-29CN121865877A2026-04-14谢龙辉、王俊、刘彪、王凯、张江水、朱亮11方形晶片的加工方法、系统及设备发明专利公布CN202512025823.02025-12-29CN121985773A2026-05-05朱亮、李阳健、赵志鹏、先泽文、郭星来12基板缓存装置发明专利授权CN202511872475.42025-12-11CN121292125B2026-04-14张杭军、谢可馨、张广犬、苏毅、曹俊瑶13金刚石生长装置发明专利公布CN202511804877.02025-12-02CN121675073A2026-03-17曹建伟、倪军夫、高宇、刘成波、董熔成、陈焕14硅晶圆图像缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511794555.22025-12-01CN121811100A2026-04-07傅林坚、刘华、陈建华、苏奥远、陈双15一种超声微孔加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511719204.52025-11-21CN121374299A2026-01-23王金荣、朱亮、曹建伟、樊叶萍16一种超声微孔加工方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511724496.12025-11-21CN121514980A2026-02-13王金荣、曹建伟、朱亮、樊叶萍、邓江山17晶圆形貌检测数据的补偿方法发明专利授权CN202511576838.X2025-10-30CN121025985B2026-01-30王悦、朱亮、王佳锋、王淼操、金子乾18多线切割工艺参数在线控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511543913.22025-10-27CN121386652A2026-01-23朱亮、王金荣、曹建伟、张安师19晶棒切片加工方法及线切机发明专利授权CN202511485412.32025-10-17CN120985823B2026-03-13王金荣、曹建伟、朱亮、沈振宏、董凯20一种电池片载体、分片电池串加工方法以及分片电池串发明专利实质审查的生效、公布CN202511429085.X2025-09-30CN121215596A2025-12-26朱亮、卢嘉彬、曹建伟、傅林坚21测温结构及立式炉管发明专利授权、实质审查的生效CN202511339634.42025-09-17CN120820244B2025-12-02曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、朱亮、刘毅、谢文、徐晓望22用于掩膜片的清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511336710.62025-09-17CN121289203A2026-01-09谢龙辉、蒲涛、王凯、吴建国、夏希林、柴宏录23气体环境管理系统、方法及碳化硅外延炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511310193.52025-09-12CN120797192A2025-10-17曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、刘毅、牛浩然、张磊24膜带涂布装置及膜带涂布方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511294411.02025-09-10CN121082513A2025-12-09王金荣、朱亮、曹建伟、黄思明25一种提高PVT法生长碳化硅单晶生长速率的装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511292211.12025-09-10CN121087617A2025-12-09胡建荣、欧阳鹏根、闫朝阳、汪传勇、乔发、张志伟26表面改性的碳化硅晶圆及其表面处理方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202511294461.92025-09-10CN121368348A2026-01-20刘小琴、欧阳鹏根、盛永江、胡建荣、杨水淼、周珊27一种减薄方法、系统以及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511254217.X2025-09-03CN121083402A2025-12-09朱亮、李阳健、赵志鹏、丁龙28软膜装粉设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511249406.82025-09-02CN121247171A2026-01-02张杭军、徐伟强、郑权、张广犬、孙成龙、冯徐鑫29滚磨方法及滚磨设备发明专利授权、公布CN202511178401.02025-08-21CN120663197B2025-10-21王金荣、朱亮、曹建伟、胡银纲、钟杨波30一种用于颗粒硅生产的连续脱氢设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511175390.02025-08-21CN121107415A2025-12-12曹建伟、朱亮、高宇、倪军夫、金天宝31一种切片机的切割方法和切片机发明专利授权CN202511121921.82025-08-12CN120606461B2025-11-11王金荣、朱亮、曹建伟、马立江、曹原32一种切片机的切割方法和切片机发明专利授权CN202511121925.62025-08-12CN120620491B2025-11-14王金荣、朱亮、曹建伟、马立江、曹原33一种切片机的切割方法、切片机以及切片系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511063934.42025-07-30CN120792000A2025-10-17王金荣、朱亮、曹建伟、牛彦齐34一种温控方法、系统以及流延装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511005611.X2025-07-21CN120686929A2025-09-23王金荣、曹建伟、朱亮、蒋俊康35一种晶圆修边方法、系统及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511001356.12025-07-21CN120696880A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银、潘斌36一种晶圆加工补偿方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510999482.42025-07-21CN120697196A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银37一种晶圆加工的标定方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511010197.12025-07-21CN120926913A2025-11-11孙菁阳、曹思明、朱亮、王宁银、潘斌38基于视觉系统的钻石磨削加工方法发明专利授权、公布CN202510977439.82025-07-16CN120461194B2025-11-07王金荣、曹建伟、朱亮、钱勇明、林少健、祝永康39放肩拉速控制方法、装置、设备、介质及程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510949604.92025-07-10CN120443329B2025-09-26傅林坚、刘华、熊世剑、戈忠信40放肩生长过程的融合控制方法、装置和电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510955511.72025-07-10CN120876382A2025-10-31刘华、熊世剑、傅林坚41钻石磨抛方法及钻石磨抛装置发明专利公布CN202510941178.42025-07-08CN120772867A2025-10-14王金荣、曹建伟、朱亮42一种切割方法和切割装置发明专利授权、公布CN202510937380.X2025-07-08CN120516227B2025-10-17王金荣、朱亮、王悦、李思东、金峰43一种碳化硅激光隐形切割方法和装置发明专利公布CN202511600677.32025-07-08CN121535352A2026-02-17王金荣、朱亮、王悦、李思东、金峰44一种晶棒滚圆加工方法、装置、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510919601.02025-07-04CN120645067A2025-09-16王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基45激光退火装置及使用该激光退火装置的激光退火方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510899319.02025-06-30CN120895495A2025-11-04王悦、朱亮、俞晨阳、陈淑楠、金子乾46一种微孔加工装置和加工方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510890696.82025-06-27CN120363348A2025-07-25王金荣、朱亮、曹建伟、邓江山、樊叶萍47微孔加工装置、方法及系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510887920.82025-06-27CN120363347B2025-09-19王金荣、朱亮、曹建伟、邓江山、梁永峰48一种晶片刷洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510864247.62025-06-25CN120809608A2025-10-17谢龙辉、张江水、王俊、张晓斌、孟晓帅、王凯、曾杰49一种晶片分道单元和分道方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510864964.92025-06-25CN120878611A2025-10-31谢龙辉、张江水、王俊、张晓斌、孟晓帅、王凯、曾杰50晶圆抛光研磨下片缓存装置及下片方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510798159.02025-06-13CN120326524B2025-08-29张遵浩、张杭军、张广犬、林卫国、谢龙辉、张争争、李运伟、曹震、曾淘、严顺康

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