有投资者在互动平台向微导纳米提问:“目前3d结构先进存储芯片与固态电池是否更加需要臭氧源ald设备?”

针对上述提问,微导纳米回应称:“尊敬的投资者,您好!在ALD设备中,水蒸气臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择,实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。感谢您的关注!”

本文源自:市场资讯

作者:公告君