国家知识产权局信息显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“用于工艺液体的温控系统、温控方法以及湿法处理设备”的专利,公开号CN121994068A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种工艺液体的温控系统、温控方法及半导体湿法处理设备。温控系统包括恒温水单元、第一温控单元和第二温控单元,工艺液体的流路设置为依次流经第一温控单元和第二温控单元,且恒温水单元的出水口与两个温控单元的换热通道入口并联连接以实现对工艺液体的两级温度调节。本申请的技术方案主要通过工艺液体串联、恒温水并联的二级温控架构,实现对工艺液体温度的粗调与精调控制,可以保证在湿法工艺中工艺液体温度的精确性和稳定性。而且上述温控作业是连续进行的,通常温控操作不占用额外的工艺节拍时间,因此不影响湿法处理的运行效率。
天眼查资料显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司,成立于2016年,位于宁波市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目171次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息186条,此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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