国家知识产权局信息显示,华芯程(上海)科技有限公司申请一项名为“SEM图像轮廓提取方法、系统及终端”的专利,公开号CN121995689A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请提供一种SEM图像轮廓提取方法、系统及终端,通过根据SEM图像分别提取待测晶圆中待量测图形的外轮廓线以及内轮廓线,并根据待量测图形的不同性质,选择外轮廓线或内轮廓线作为待量测图形的初始轮廓线,以根据电子扫描显微镜机台输出的关键尺寸机台量测值,对初始轮廓线进行矫正,获得待量测图形的目标轮廓线;从而提高了目标轮廓线的精度和可靠性,保留了待量测图形的轮廓形貌特征,有助于验证和校准OPC模型,解决了现有从SEM图像中提取晶圆待量测图形的二维轮廓存在量测精度低、可靠性差以及与电子扫描显微镜机台输出的轮廓关键尺寸偏差的技术问题。
天眼查资料显示,华芯程(上海)科技有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1173.9533万人民币。通过天眼查大数据分析,华芯程(上海)科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息66条,专利信息123条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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