国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司申请一项名为“图像传感器及其制备方法”的专利,公开号CN122002928A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请提供一种图像传感器及其制备方法,其中在制备方法中,先在层间介质层中形成沟槽,然后形成填充沟槽以及覆盖层间介质层的N型掺杂的外延层,接着通过离子注入工艺对层间介质层顶端的外延层进行反型掺杂,得到P型离子注入区,其中,P型离子注入区和层间介质层构成堆叠的隔离结构(光电二极管隔离区),沟槽中以及沟槽顶端的N型掺杂的外延层构成光电二极管的N型区,这样不仅可以突破传统隔离结构的对离子注入极高深度的限制,即,可以突破更小尺寸的像素单元的光刻和离子注入的工艺限制,还可以省略背照式图形传感器背面深沟槽刻蚀的工艺,大大降低了图像传感器的制造难度。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2943次,专利信息1988条,此外企业还拥有行政许可117个。

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作者:情报员