时间来到2026年,中国半导体产业站上了一个新的历史高点。

一方面,AI算力需求持续引爆全球芯片市场,中国半导体出口在2026年前两个月同比增长72.6%至433亿美元,Omdia将2026年中国半导体市场规模预期上调至5465亿美元(约合3.9万亿元人民币),近十年中国产业年均复合增速超17%,是同期全球增速的3倍以上。与此同时,12英寸晶圆厂密集投产、先进封装产能大规模扩充,半导体制造过程的废气排放量也随之攀升。

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另一方面,环保法规进入了历史上最严的时期。2026年3月通过的《中华人民共和国生态环境法典》将于8月15日正式施行,以法律形式统一强制配置要求,“三同时”(同时设计、同时施工、同时投产)刚性执行。珠三角、长三角等地专项治理行动密集铺开,VOCs和全氟化合物(PFCs)的排放限值持续收紧。一家晶圆厂因HF排放超标被重罚的案例,让全行业意识到:废气治理已不再是“锦上添花”,而是决定项目能否投产、企业能否生存的生命线。

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那么,在2026年的政策与技术双重背景下,半导体企业该如何科学选择废气治理厂家?宁波的碳化硅功率器件企业给出了怎样的答案?

本文将通过可迪尔环境宁波一家碳化硅功率器件企业的废气治理项目完整拆解,帮您理清2026年的选型逻辑与技术要点。

一、为什么2026年半导体废气治理“更难”了?

相比2025年,2026年半导体废气治理面临三大新挑战:

1. 政策刚性升级

《生态环境法典》2026年8月15日正式施行,首次以法律形式统一强制配置要求,“三同时”刚性执行,意味着企业从环评阶段就必须一次性选对治理方案。各地排放标准持续收紧,上海等地新规新增氯气、苯系物等8项控制因子,无组织排放也被纳入严格监管。

黄埔分局启动电子制造行业VOCs专项治理,围绕源头替代、先进生产技术、无组织排放控制、高效治污设施建设等六大核心任务,实现从源头到末端的闭环管控。

2. 产能扩张带来的治理压力激增

2026年中国晶圆制造产能已达全球第一,先进封装与CPO技术快速崛起,集成电路出口首破2000亿美元。制造环节的密度和复杂度同步提升,单条产线的废气排放量较2020年增长超过50%,对治理系统的处理能力和稳定性提出了更高考验。

3. 节能降本成为核心竞争力

数据显示,半导体先进制程每升级一代,三废处理成本便会上升30%–50%,一台常规RTO设备月耗电量可达12万度。在能源价格高企的当下,废气治理系统的能耗、运维成本直接影响企业的长期盈利能力。环保合规已从单纯的支出项,演变为衡量企业运营效率的关键指标——选对技术方案,每年省下百万级运行成本已成为现实。

二、可迪尔宁波真实案例拆解:项目废气治理实践

项目背景:业主是一家专业生产碳化硅功率器件的企业,拥有国内最全碳化硅功率器件产品目录,主营碳化硅MOSFET、碳化硅SBD等功率器件产品覆盖个电压等级与载流能力,并且均通过AEC-0101车规级测试认证。量产产品已在电动汽车、光伏逆变器、储能系统、可再生能源、工业电源、消费电子领域等领域广泛使用,为各个应用领域头部客户持续稳定地供货,且产品质量与供应能力得到客户的广泛认可。我们不仅提供性能卓越的器件,更致力于通过不断创新引领行业的发展趋势,为客户提供定制化和全面的解决方案。

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面对环保标准升级和产能扩张的双重压力,企业在废气治理上做了怎么样的部署?

设计方案:前处理+沸石转轮+TO

设计风量:30000m³/h

浓缩倍数:15倍

工艺路线

废气经前处理去除大颗粒物及高沸点物质,再由主工艺风机输送至沸石转轮,废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中。再由脱附风机输送的热空气将VOCs从沸石中脱附出来,由TO风机输送至TO反应器中,被氧化成CO2和H2O,达标排放至大气中。

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三、2026年选择可迪尔作为半导体废气治理的理由

基于2026年的行业新现实,企业在选择废气治理厂家时,建议重点关注以下六个维度:

全生命周期服务

从现场勘查、方案设计、加工制造,到安装调试、培训验收、运维售后——可迪尔提供的是完整链条。

半导体头部企业背书

比较看重实际运行的口碑。可迪尔项目在半导体行业经验极为丰富,同时拥有超过1300台设备应用实绩,服务客户超千家,除了半导体行业,还覆盖新材料、涂装、汽车、船舶、化工、包装等众多行业。北京、杭州、海宁的项目现场参观让我们看到设备稳定、运维不复杂、售后服务响应及时。有这么多同行验证过,心里踏实。

技术应用广泛

可迪尔工艺覆盖了从晶圆制造、芯片封测、设备制造到光电显示的全产业链。

工艺组合多样:针对不同的废气成分(有机、酸碱、特殊气体),可迪尔采用了“转轮+RTO”、“转轮+TO”、“洗涤塔”以及组合工艺。

技术有国家级背书

可迪尔的沸石转轮浓缩技术已被录入《国家鼓励发展的重大环保技术装备目录(2020年版)》,也参与起草了《旋转式沸石吸附浓缩装置技术要求》(T/CAEPI 31-2021)和《工业有机废气净化用沸石蜂窝体吸附剂》(T/CAEPI99-2025)等众多标准。跟一个参与制定行业标准的企业合作,可以很放心。

客户实力强:项目客户包括行业知名企业,如京东方、华灿光电、阿斯麦(ASML)、等,印证了可迪尔的技术实力。

地区覆盖广:项目遍布广东、江苏、北京、重庆、安徽、上海、浙江等多个半导体产业聚集区。