2025年,哥伦比亚大学教授、美国知名经济学家杰弗里·萨克斯在接受央视《高端访谈》时,公开谈到中美科技竞争。

在很多西方媒体仍不断鼓吹中国芯片被卡死、中国半导体落后多年的背景下,他直言:遏制中国是荒谬的,也是徒劳的。

如果把时间拉回过去七年,再看看中国半导体产业,尤其是中国光刻机的发展轨迹,你会发现:萨克斯说的,并不是一句客套话。因为现实正在证明美国的极限制裁,并没有让中国科技停下脚步,反而逼出了中国半导体产业最强的自主化进程。

而光刻机,就是其中最典型、也最艰难的一场突围战。

一、为什么美国最怕中国突破光刻机?

在整个芯片制造流程中,光刻机被称为皇冠上的明珠。原因很简单。芯片制造,本质上就是在硅片上“刻电路”。而负责“刻”的设备,就是光刻机。

它的核心作用,是把芯片设计图,通过极其复杂的光学系统,缩印到晶圆上。制程越先进,对光刻机的要求越高。7nm、5nm、3nm背后,本质上都是光刻能力的竞争。

因此,谁掌握高端光刻机,谁就掌握全球芯片产业的话语权。目前全球最先进的EUV光刻机,长期由荷兰企业ASML垄断。

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一台EUV光刻机,零部件超过10万个。背后涉及:德国蔡司的超精密镜头、美国的激光技术、日本的材料体系、欧洲的精密控制系统。整个产业链,几乎凝聚了西方工业几十年的积累。也正因如此,美国一直认为:只要卡住光刻机,中国芯片产业就无法真正崛起。

二、从2019年开始,中国半导体进入生死局

2019年,是中国科技产业的重要转折点。这一年,美国开始对Huawei实施全面制裁。随后:芯片断供、EDA软件限制、高端GPU限制、半导体设备禁运、人才交流限制。接连出现。

到了2022年,美国进一步升级半导体禁令。先进GPU、高端制程设备、EUV光刻机、先进DUV设备,几乎全面封锁。美国希望通过卡脖子,直接压制中国高端制造。

当时很多人认为:中国芯片产业会因此陷入停滞。但现实却出现了另一种结果。封锁,反而让中国科技企业开始全面转向自主可控。

过去一些企业更愿意采购国外成熟设备。因为进口更稳定、更成熟。但在制裁之后,中国企业突然意识到:如果核心技术掌握在别人手里,再便宜、再先进,也随时可能被断供。于是,中国半导体产业开始进入真正意义上的“国产替代时代”。

三、中国光刻机,到底发展到什么水平了?

很多人一提到中国光刻机,就会想到一句话:“中国还造不出EUV。”这句话只说对了一半。因为光刻机,并不只有EUV。目前主流光刻机主要分为:i-line、 KrF、ArF、ArF浸没式、EUV。

中国在中低端光刻机领域,其实早已实现突破。真正困难的是高端ArF浸没式与EUV。而中国这些年真正的进步,恰恰发生在这里。

提到国产光刻机,就绕不开上海微电子装备(集团)股份有限公司。它被外界称为中国光刻机之光。过去多年,上海微电子长期深耕:封装光刻机、LED光刻机、MEMS设备、集成电路制造设备。

虽然与ASML仍有差距,但它已经是中国最核心的国产光刻装备企业。更重要的是:中国正在逐步打通整条产业链。因为光刻机从来不是一家公司的战斗。它背后需要:光源、光学镜头、双工件台、精密运动控制、光刻胶、掩膜版、超精密加工。全产业链协同。

过去,中国很多环节都依赖进口。如今,大量国产企业开始补位。例如:光刻胶领域的北京科华微电子材料有限公司、半导体材料领域的鼎龙股份、刻蚀设备领域的中微公司、薄膜沉积领域的北方华创。这些企业共同构成了中国半导体设备体系。

很多时候,人们只盯着EUV。却忽略了一个事实:中国正在建立属于自己的完整产业生态。

历史反复证明:真正的大国科技,从来不是靠“买”出来的。而是在压力中被逼出来的。美国原本希望通过封锁,延缓中国科技发展。但现实却是:中国企业开始真正重视底层技术。中国半导体产业,也开始真正走向自主可控。

或许今天,中国光刻机仍在追赶。但很多人已经意识到:真正让西方感到不安的,并不是中国现在有多强,而是中国还在持续进步。

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