国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“一种基板处理系统及基板转运方法”的专利，公开号CN122028686A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明一方面提供了一种基板处理系统，包括多个工位、转运装置和传送装置；其中，转运装置设置在所述工位上，用于取放所述基板；传送装置沿所述多个工位的排布方向设置，用于将所述基板转运至任意工位处，供所述转运装置取用。本发明的基板处理系统通过转运装置和传送装置配合完成基板的转运工作，大幅度提高了基板的转运效率。进一步的，在通过传送装置转运所述基板的同时，不影响其他工位的正常工作，有效提高了基板转运系统的效能。另一方面，本发明还提供了一种基板转运方法，通过转运装置和传送装置配合完成基板的转运工作，大幅度提高了基板的转运效率。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目11次，专利信息70条，此外企业还拥有行政许可61个。

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作者：情报员