国家知识产权局信息显示,南京和显达微电子科技有限公司申请一项名为“一种Cu合金氧化物一步蚀刻蚀刻液及其制备方法”的专利,公开号CN122013188A,申请日期为2026年2月。

专利摘要显示,本发明涉及蚀刻液技术领域,具体为一种Cu合金氧化物一步蚀刻蚀刻液及其制备方法,包括主剂和辅剂;按质量百分比计,所述主剂至少包括:双氧水4.00-8.00%,有机酸0.50-14.00%,pH调节剂0-2.2%,含氟化合物0.03-0.4%,稳定剂0.50-1.00%,有机碱0.50-2.00%,抑制剂0.20-0.50%,含嘌呤基团化合物0-1%,去离子水补足余量;所述辅剂至少包括辅助有机酸,辅助pH调节剂,辅助含氟化合物,辅助有机碱,辅助抑制剂,辅助稳定剂,去离子水。通过体系优化,在低双氧水情况下实现了铜合金与氧化物一步蚀刻,解决了合金层倒角,IGZO无竖直侧壁/尖锐Tip等问题。

天眼查资料显示,南京和显达微电子科技有限公司,成立于2021年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,南京和显达微电子科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息9条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员