WKEA维嘉新推出一款化学液用气控阀JLV系列,该产品通过创新结构设计,大大降低阀关闭时的冲击,从而有效的抑制了微粒的产生。阀主体采用高纯PFA材质,对应高工作压力及背压,兼具结构紧凑、省空间的特点,适用于涂胶显影、CMP、清洗、湿法蚀刻、药液供给等Wet相关各个工艺环节,特别是28nm以下对微粒要求更加严格的工艺制程。

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