国家知识产权局信息显示，一道新能源科技股份有限公司取得一项名为“一种自动清洗扩散炉尾排管及滤芯的装置”的专利，授权公告号CN224237768U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体设备技术领域，提供一种自动清洗扩散炉尾排管及滤芯的装置,包括连通在尾排管上的截止阀和隔膜泵，所述截止阀、隔膜泵之间连通有过滤器；还包括水汽发生组件，所述水汽发生组件包括恒温供水件，所述恒温供水件用于盛放恒温水，所述恒温供水件内设置有水汽喷出件，所述水汽喷出件的喷出端与所述尾排管连通，且所述水汽喷出件的喷出端位于所述截止阀和所述过滤器之间。本实用新型可以在硅扩散炉使用过程中，针对氧化硼结晶问题，自动清洗尾排管及滤芯内氧化硼结晶，避免人工拆装，提高工作效率。

天眼查资料显示，一道新能源科技股份有限公司，成立于2018年，位于衢州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本52910.6152万人民币。通过天眼查大数据分析，一道新能源科技股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目630次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息1076条，此外企业还拥有行政许可18个。

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作者：情报员