截至2026年5月20日 09:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.73%，成分股中科飞测上涨15.64%，上海合晶上涨13.32%，神工股份上涨7.46%，华海清科，拓荆科技等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.47%， 冲击4连涨。最新价报2.74元。拉长时间看，截至2026年5月19日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨12.78%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率1.36%，成交额4789.16万元。拉长时间看，截至5月19日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额4.07亿元。

规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达34.60亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）

资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流入9281.46万元。拉长时间看，近5个交易日内，合计“吸金”3758.20万元。（数据来源：Wind）

截至5月19日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨75.13%。

跟踪精度方面，截至2026年5月19日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

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