截至10:37，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.52%，成分股上海合晶上涨20.00%，中科飞测上涨13.71%，华兴源创上涨10.87%，中芯国际，艾森股份等个股跟涨。科创半导体ETF华夏（588170）上涨2.16%， 冲击4连涨。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手12.56%，成交13.12亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月19日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交21.41亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达101.98亿元，创近1年新高，领先同类。

从资金净流入方面来看，科创半导体ETF华夏近4天获得连续资金净流入，最高单日获得2.00亿元净流入，合计“吸金”3.19亿元，日均净流入达7983.10万元。

科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中存储芯片含量近80%，先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。