5月20日，半导体设备ETF国泰（159516）报收1.336元，收涨5.28%，成交金额43.42亿元。获融资买入33899.53万元，融资偿还21791.78万元，融资净买入12107.75万元，居可比基金首位。

拉长时间看，该基金近7天杠杆资金净流入，累计流入4.1亿元。

半导体设备ETF国泰（159516）的场外联接基金为：国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632.OF）、国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633.OF）。