6月10日下午1点,蔡司要办一场线上技术分享会。主角是Crossbeam 750——一台把扫描电镜和聚焦离子束焊在一起的设备。芯片行业的人对这玩意儿不陌生:你要找出7纳米芯片哪里坏了,得先用离子束切出薄片,再放到透射电镜里看。问题是,切的时候看不见,切完发现位置偏了,整片报废。

Crossbeam 750想解决的就是这个痛点。它的宣传点是"see while you mill",边切边看。具体靠三个东西:新的Gemini 4扫描电镜物镜、双偏转器、下一代扫描发生器。官方说法是分辨率和信噪比上去了,图像细节更多,采集时间更短。低电压聚焦离子束的性能也被强调,说能做出更精确的薄片。

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真正的新花样是一个叫HDR Mill + SEM的模式。简单说,就是扫描电镜和离子束的扫描交织在一起。离子束切的时候会产生背景噪声,这个模式声称能抑制掉,让你实时看到干净的图像。甚至可以在离子束图案 live nudging——也就是边切边微调——的时候,仍然保持清晰的视觉反馈。按蔡司的说法,这能让你更自信地决定什么时候停刀,表面质量也能达到计量级,同时把样品损伤压到最低。

目标用户画得很清楚:半导体失效分析工程师、良率团队、材料科学家。核心诉求三个词:更快的TEM制样时间、更高的首次成功率、低电压下的稳定产出。蔡司的卖点是帮你早做决定、减少返工、可靠地预估周转时间。

这场分享会免费,线上参加。内容就是演示这套工作流,看看实际效果是不是像PPT里说的那么顺。