细美事申请DC脉冲供应器及基板处理装置专利,控制施加于两电极的电压
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国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“DC脉冲供应器以及包括其的基板处理装置”的专利,公开号CN122073199A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种DC脉冲供应器以及包括其的基板处理装置。本发明的基板处理装置的位于静电卡盘内部的下电极和位于绝缘环的内部的边缘电极分别连接于DC脉冲供应器的第一输出端和第二输出端,DC脉冲供应器通过在两电极形成电位差并施加电压,从而控制施加于两电极的电压。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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