国家知识产权局信息显示,上海鲲游科技有限公司申请一项名为“半导体倾斜结构及其形成方法”的专利,公开号CN122072439A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体倾斜结构及其形成方法,用于形成具有预设倾斜角度的斜齿结构,包括:在基底上形成光栅胶层;采用泰伯光刻工艺图形化光栅胶层,形成光栅层,泰伯光刻工艺图形化光栅胶层的曝光过程中,泰伯光刻工艺的扫描距离基于预设倾斜角度获取,并且,入射光线的入射角为锐角,使光栅层包括若干相互分立的斜齿掩模结构或若干倾斜凹槽,斜齿掩模结构的齿侧壁与基底的表面之间的夹角为锐角,倾斜凹槽的槽侧壁与基底的表面之间的夹角为锐角;基于光栅层,在基底上形成若干相互分立的斜齿结构,斜齿结构的侧壁面与基底的表面之间的夹角为锐角。以此,满足斜齿结构的制作,形成符合预期的稳定性好的斜齿结构。
天眼查资料显示,上海鲲游科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海鲲游科技有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息236条,此外企业还拥有行政许可29个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴