来源：新浪基金∞工作室

5月22日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）收盘涨1.06%，成交额3.52亿元。

半导体设备ETF万家（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止5月21日，半导体设备ETF万家（159327）最新份额为4.71亿份，最新规模为14.24亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF万家（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加53.50%，规模增加153.75%。

流动性方面，截止5月22日，半导体设备ETF万家（159327）近20个交易日累计成交金额30.48亿元，日均成交金额1.52亿元；今年以来，90个交易日，累计成交金额73.58亿元，日均成交金额8175.97万元。

半导体设备ETF万家（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益63.99%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF万家（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、安集科技、江丰电子，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688012中微公司14.72%45.75万1.40亿002371北方华创12.84%27.36万1.22亿688072拓荆科技7.31%18.82万6962.96万300604长川科技6.29%49.53万5995.61万688120华海清科5.05%27.62万4806.18万688126沪硅产业3.79%213.84万3613.95万688361中科飞测3.74%23.45万3565.57万300346南大光电3.65%77.12万3481.03万688019安集科技3.47%13.17万3302.38万300666江丰电子3.46%23.68万3296.73万

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